大口径石英管外表面抗腐蚀纳米金刚石薄膜的制备东海县奥博石英制品有限公司【官网】-大口径石英管_石英筒

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大口径石英管外表面抗腐蚀纳米金刚石薄膜的制备
新闻来源：点击数：1660 更新时间：2015-8-31 18:06:14 收藏此页

在具有新型谐振腔的微波等离子体CVD装置上，利用乙醇和氢气为工作气体在大口径石英管外表面沉积了均匀、致密的纳米金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石薄膜的质量；设计腐蚀实验检验了金刚石薄膜的抗腐蚀效果。结果表明：在反应气压为5．5 kPa、碳源浓度为8 vo1％、大口径石英管温度为500oC的条件下，得到的纳米金刚石薄膜能有效增强大口径石英管的抗腐蚀性能。文章出处：http://www.abquartz.cn
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