大口径石英管在半导体工业设备上,运用温度经常在 1000 ℃至 1300 ℃之高温状态, 在此种状态下由于附著不纯物招致失透现象发作,失透之部分为石英之晶质化, 晶质化之变态点为 275 ℃,当石英筒自高温降至此变态温度时,表面失透之晶 质化部分与石英筒本身高温之 α 相与低温之 β 相间收缩系数不同在急速冷却下 产生不透明之剥离状更严重时会构成分裂现象产生。为使石英制品能运用更久, 就必需留意防止成石英失透产生的缘由, 而构成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃 …… 等等。且0.1mg/cm2l}k 就会构成数十倍或数百倍的失透量。 因此,防止这些污染源附著在石英表面上 除了不直接用空手去拿石英外, 运用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石 英表面之洁净度。 普通石英之洗净需求一些程序, 首先用纯水先冲洗表面, 再置入酸洗槽内浸泡一 些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干。 文章出处:http://www.abquartz.cn |