石英筒的形成是因为其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通讯装置、激光器,光学仪器,实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐侵蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等产业,应用十分广泛。因为种类、工艺、原料的不同,国外经常叫做硅酸玻璃、石英筒、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我国统称石英筒,多按工艺方法、用途及外观来分类,如电熔透明石英筒、连熔石英筒、气炼透明石英筒、合成石英筒、不透明石英筒、光学石英筒、半导体用石英筒、电光源用石英筒等。 石英筒在半导体产业设备上,使用温度常常在1000℃至1300℃之高温状态,在此种状态下因为附著不纯物导致失透现象发生,失透之部门为石英之晶质化,晶质化之反常点为275℃,当石英筒自高温降至此反常温度时,表面失透之晶质化部门与石英筒本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状,更严峻时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久,就必需留意防止造成石英失透产生的原因,而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。 且0.1mg/cm2就会造成数十倍或数百倍的失透量。因此,防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高温功课之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。一般石英之洗净须要一些程序,首先用纯水先冲刷表面,再置入酸洗槽内浸泡一些时间,掏出后再用纯水冲刷后晾干。 文章出处:http://www.abquartz.cn |