1、可以用氢氟酸清洗； 　　

2、用发烟硝酸或是热浓硫酸洗或浸泡3到五分钟，必要时再或是重复几次都可以洗净。 　　

3、高温烧，蒸汽吹。

4、丙酮溶液超声3－5分钟，无水乙醇超声3－5分钟，前后反复两遍，后用热、冷去离子水冲洗。

5、用HF溶液（HF:H2O）泡30秒，冲去离子水15分钟。

6、用I号洗液(NH4OH:H202:H20),先把去离子水加热至85°C，倒入NH4OH和H202，放入晶片，在烧杯中煮15分钟，后用去离子水冲6－7遍；

7、用稀释HF溶液（HF:H2O）泡30秒，冲热去离子水15分钟；

8、用II号洗液(HCl:H202:H20),先把去离子水加热至85摄氏度，倒入HCl和H202，放入晶片，在烧杯中煮15分钟，后冲热去离子水15分钟，冲冷去离子水5分钟；

9、吹干后，烘干备用。

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