大口径石英管资讯 在具有新型谐振腔的微波等离子体CVD装置上，利用乙醇和氢气为工作气体在大口径石英管外表面沉积了均匀、致密的纳米金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石薄膜的质量；设计腐蚀实验检验了金刚石薄膜的抗腐蚀效果。结果表明：在反应气压为5．5 kPa、碳源浓度为8 vo1％、大口径石英管温度为500oC的条件下，得到的纳米金刚石薄膜能有效增强大口径石英管的抗腐蚀性能。

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