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石英管在PECVD中的作用
新闻来源:    点击数:1634    更新时间:2015-7-18 15:56:55    收藏此页
      PECVD中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。
 文章出处:http://www.abquartz.cn
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