PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。
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